一、电子半导体废水概况

电子半导体废水主要来源于半导体研磨过程和集成电路的蚀刻、‌镀槽、‌清洗等工序，‌含有多种污染物，‌包括磷、‌氟离子、‌超细颗粒物、‌氨氮、‌有机物COD、‌重金属离子等。‌电子半导体废水的来源主要包括半导体研磨过程中产生的废水，‌如酸碱废水、‌含氟废水、‌含磷废水、‌氨氮废水以及半导体有机废水等。‌这些废水还来源于集成电路的蚀刻、‌镀槽、‌清洗等工序。‌废水中含有的污染物化学成分复杂，‌包括磷、‌氟离子、‌超细颗粒物、‌氨氮、‌有机物COD（‌化学需氧量）‌、‌重金属离子等。‌这些污染物对环境和人类健康构成威胁，‌因此，‌电子半导体废水处理和管理至关重要。‌‌

二、案例分析

合作单位：上海某半导体制造有限公司

开始合作时间：2023年7月

改造项目：一体化生化设备

现场主要是通过化学法去除各种污染指标，没有考虑过运用生化。我们取水进行了水质分析，发现其实是适合做生化处理的，但业主的意思是现阶段效益不高，希望是能提供低价的方案。根据该公司电子半导体废水处理 的情况，给其设计了一个一体化的生化设备，更好地处理了现场的超标问题，产生的费用也在业主的可接受程度内。

三、改造前COD和氨氮出水浓度

四、工艺说明

（1）生化一体化设备（水解酸化+厌氧+好氧MBR）

水解酸化池

利用水解菌、酸化菌将水中不溶性有机物水解为溶解性有机物，将难生物降解的大分子物质转化为易生物降解的小分子物质的过程，从而调整废水的可生化性，为后续生化处理提供良好的水质环境。增大B/C比，提高废水可生化性同时去除废水中的部分COD和氨氮。

好氧MBR膜池

好氧MBR膜池，作为新型分离技术，集成了传统活性污泥法与膜分离工艺。该技术通过在曝气池中集成结构化MBR平片膜组件，实现好氧处理后的水经膜过滤直接抽出，同时截留污泥与大分子有机物，省去了二沉池。此举有效提升活性污泥浓度，灵活调控水力与污泥停留时间，推动难降解物质在反应器内持续降解，提升处理效率与水质，达到深层去除COD、氨氮的作用。

（2）清水罐

清水罐，用作希洁药剂处理混合反应的一个1000L罐体。

（3）碳滤罐

对废水残余的COD、氨氮、SS等进行有效的物理吸附，使出水水质达标。

五、改造处理后的效果

经过上述电子半导体废水处理的改造方案，该公司污水中的污染指标，cod和氨氮处理后达到排放标准，出水水质达标。

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