一、工程概况

合作公司：东莞某半导体有限公司

合作时间：2022年3月

改造项目：膜处理单元

东莞某半导体有限公司以生产晶体元件为主， 产生的硅磨料废水 15m³/D。在加工过程中需要将单质硅体切割成符合要求的硅片，因此在切割过程中需要不断地排出旧切削液，在切割过程中约50% 的硅料混进切削液和碳化硅粉磨料组成的切削液中，并不断补充新切削液，就产生了大量的切割废液。晶硅加工废水的硅粉是非常细的，粒径大小在0.1~1mm之间，而大部分的细小颗粒悬浮于水中，难以沉积。原工艺的处理方法是往水中加入如聚合氯化铝、聚合氯化铁、聚丙烯酰胺等的絮凝剂，当含硅废水絮凝沉淀后再进行压滤进行固液分离。分离后的水进入综合调节池，和其它废水进入另外的系统处理。

这种方法处理的时候，沉淀速度比较慢，需要静置比较长的时间，出水才会清澈。并且废水中大部分可回收的材料直接浪费掉，其中的有机物给后续的处理系统带来一定负荷。

二、处理工艺流程

（原有的工艺流程）

（改造后的工艺流程）

三、工艺说明

废液通过超滤进行错流过滤，产水去掉反渗透进一步净化。超滤浓水则去掉气浮进行分离，大部分分离出来的物料可回收利用，分离出来的水去到混凝沉淀的工序，再回到前端收集池。反渗透产水则可直接回到车间制作成超纯水。

四、处理的效果

改造后的处理工艺废水不用外排，减轻了后续污水处理系统的负荷，水及滤料进行了很好的回收再利用，为企业降本增效发挥了非常大的作用。

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